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功率放大器在三維超聲振動臺性能測試中的應用

更新時間:2020-09-02      瀏覽次數:458

實驗名稱: 三維超聲振動臺性能測試

研究方向:微納加工

實驗內容:在傳統探針納米刻劃加工的基礎上,加工一維/二維的超聲振動,可有效提高加工效率,并減小探針磨損和材料堆積,本實驗意在測試所設計的三維超聲振動臺的相關性能,看是否滿足加工需求。

測試目的:標定振動臺的工作性能

測試設備: 自研三維超聲振動臺、多普勒激光測振儀、DAQ采集卡、功率放大器、壓電陶瓷

功率放大器型號: ATA-2082

實驗過程:

三維超聲振動臺具有xyz三個方向的自由度,每個方向由一個單獨的壓電陶瓷片驅動,可在振動輔助加工過程中,提供一維或二維的振動輔助,在實驗過程中,首先由信號發生器發出控制信號,然后經過ATA-2082功率放大器,對控制信號的電壓和功率進行放大,驅動壓電陶瓷片輸出位移信號,并由多普勒激光測振儀進行信號的采集。測試分別對三個方向的不同頻率、不同電壓下的一維振動,以及xy和xy的不同相位差下二維振動進行了實驗。

 

實驗結果:

如圖所示,在不同驅動電壓下,輸出位移呈現線性增加;在不同驅動頻率下,開始位移信號保持不變,但隨著驅動頻率逐漸接近振動臺的固有頻率,位移信號開始增大;二維振動同樣表現與隨相位差的變化,而表現出不同的形狀。在整個過程中驅動壓電穩定,位移信號與預期一致,兩個通道可同時輸出,且在達到超聲頻率時,大輸出電壓仍可穩定輸出。

圖片3.png

圖片4.png

圖片5.png圖片6.png

 

功率放大器在該實驗中發揮的效能: 為信號發生器發出的信號進行電壓與功率的放大,ATA-2082的功率與本實驗所采用的壓電陶瓷片匹配,雙通道可提供兩個方向的信號放大,且兩信號相位差穩定。

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