UV-CMP拋光機有兩種工作模式：連接超聲振動信號和關(guān)閉超聲振動信號接入。UV-CMP拋光機的設(shè)備工作步驟如下：第一，超聲信號發(fā)生器生成一定頻率和波形的電信號；第二，超聲電信號傳輸給功率放大器，使電信號達(dá)到超聲轉(zhuǎn)換裝置工作的電壓和功率；第三，放大的電信號傳輸給超聲轉(zhuǎn)換裝置，使得超聲電信號轉(zhuǎn)換成同頻率的機械振動。經(jīng)過上面的三個步驟，CMP拋光機升級為UV-CMP，傳統(tǒng)的化學(xué)機械拋光也升級為超聲振動輔助化學(xué)機械拋光。關(guān)閉超聲信號發(fā)生器上的開關(guān)，UV-CMP拋光機轉(zhuǎn)換成傳統(tǒng)化學(xué)機械拋光工作模式。

　　信號發(fā)生器輸出的驅(qū)動信號不足以使超聲轉(zhuǎn)換裝置正常工作。因此還需配置功率放大器，將電驅(qū)動信號進(jìn)行放大。經(jīng)過放大的電信號可以使超聲轉(zhuǎn)換裝置正常工作。功率放大器選用Aigtek-ATA-68020，電壓是850Vp-p，最大輸出電流是2.12Ap。

　　實驗名稱：超聲化學(xué)機械拋光設(shè)備

　　實驗原理：超聲信號發(fā)生器生成一定頻率和波形的電信號，但該信號不足以使超聲轉(zhuǎn)換裝置正常工作。此時需要功率放大器，它將超聲信號發(fā)生器輸出的驅(qū)動信號進(jìn)行放大，把放大后的電信號傳輸給超聲轉(zhuǎn)換裝置，使電信號達(dá)到超聲轉(zhuǎn)換裝置工作所需的電壓和功率，確保超聲轉(zhuǎn)換裝置能正常運行。比如實驗中選用的Aigtek-ATA-68020功率放大器，其最大輸出電壓是850Vp-p，最大輸出電流是2.12Ap，能滿足超聲轉(zhuǎn)換裝置的工作要求。

　　實驗框圖：

　　實驗過程：超聲轉(zhuǎn)換裝置即實現(xiàn)超聲電信號轉(zhuǎn)換成機械振動信號功能的裝置經(jīng)過功率放大器放大的電信號通過壓電陶瓷片轉(zhuǎn)換成機械振動信號，此時的機械振動信號具有與電信號相同的頻率。喇叭形蓋板可將機械信號進(jìn)行一定程度的放大。又因為蓋板直抵樣品托，因此放大后的機械信號可將機械振動傳遞給樣品托。從信號發(fā)生器產(chǎn)生超聲信號，到功率放大器放大超聲信號，再到轉(zhuǎn)換裝置將超聲信號轉(zhuǎn)換成機械振動信號，最后機械振動信號經(jīng)放大后導(dǎo)致樣品托產(chǎn)生振動。經(jīng)過這樣一套流程，CMP拋光機可變身為UV-CMP設(shè)備。

　　應(yīng)用方向：芯片封裝拋光，航空航天零部件拋光，醫(yī)療器械加工，反射鏡拋光等方向

　　應(yīng)用場景：超聲導(dǎo)波、沖擊損傷、磁致伸縮換能器、壓電極化、損傷定位、管厚測距、超聲清洗等

　　產(chǎn)品推薦：ATA-2000系列高壓放大器

圖：ATA-2000系列高壓放大器指標(biāo)參數(shù)

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