ATA-2000系列mems光柵應用測試高壓放大器MEMS光柵應用測試：

MEMS光柵采用了硅微加工工藝技術，在外力作用下使光柵的某些特征參數（如周期、光柵等常數）發生改變，從而實時改變光柵的工作性能，實現光柵的可編程應用?；谄?的優勢，MEMS光柵已經用于光通信、高清顯示設備、光譜分析等領域。MEMS光柵具有多種驅動方式，而靜電驅動的 MEMS光柵， 由于其工藝易于實現、耗能低、頻率響應高，因此是的驅動方式。著名的光柵光閥（GLV）和氣體探測器（Polychromix） 都是采用靜電驅動的。 靜電驅動的可編程光柵還存在某些不足。靜電驅動的能量密度較小，當結構需要比較大的工作 位移（微米級），就必須增大驅動電壓，驅動電壓甚 至達到上百伏。當結構受靜電力作用，由于機械結構*的慣性而產生彈性振蕩，增大系統延遲。實際工作時，光柵等效電容會隨光柵梁位移的改變而變化，導致驅動電路容性負載的變化。這些都為設計驅動電路帶來困難。 因此，MEMS光柵的工作性能很大程度上依賴于高壓放大器的性能。

MEMS測試功率放大器：

西安安泰電子科技有限公司生產的系列高壓放大器提供了DC-1.5MHz的帶寬，170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍，40mA~500mA的電流輸出能力，是新型的MEMS相關應用的動態驅動研發測試的理想選擇。

ATA-2000系列mems光柵應用測試高壓放大器，可以輸出理想的單端及差分信號，為MEMS領域的研究提供了快捷的工具。同時該系列功率放大器，設計了良好的過壓，過流，短路保護裝置，同時為了更好的為MEMS測試客戶應用，提供的完善的阻抗匹配網絡，方便用戶選擇對應的匹配阻抗。